– Papasakokite, kas yra švarusis kambarys ir kam jis skirtas?

– Dirbant su mikro- ir nanoobjektais svarbūs ne tik tipiniai aplinkos parametrai, tokie kaip temperatūra, slėgis, drėgmė, bet ir įvairių dalelių koncentracija ore. Dulkė, kurios dydis gali būti nuo kelių nanometrų iki kelių mikrometrų, nusėdusi ant gaminamo ar analizuojamo paviršiaus, gali sugadinti ištisą nanoobjektų masyvą ar pakeisti paviršiaus savybes.

Sparčiai vystantis mikroelektronikos ir nanotechnologijų sritims atsirado būtinybė šias sąlygas valdyti standartizuotai. Tokios specializuotos patalpos vadinamos švariaisiais kambariais ir dažniausiai yra naudojamos puslaidininkių, farmacijos, biotechnologijų ir panašiose srityse, kur itin svarbu užtikrinti procesų patikimumą ir atkartojamumą.

– Kas gali naudotis švariuoju kambariu ir kokios technologinės paslaugos jame teikiamos?

– „Santakos“ slėnyje esančiu švariuoju kambariu gali naudotis visi KTU bendruomenės nariai ir išorės užsakovai iš akademinio ir pramonės sektorių, pasinaudoję atvirąja prieigos sistema APCIS. Šiuo kambariu rekomenduojama naudotis tikslingai, o visi nauji naudotojai privalo išklausyti darbo švariuosiuose kambariuose kursus.

Patalpose yra įdiegta MMI prižiūrima puslaidininkių nanogamybos technologijoms pritaikyta įranga – litografijos, reaktyviojo joninio ėsdinimo, vakuuminio plonų sluoksnių formavimo ir kitos sistemos.

Taip pat ten yra analitinės įrangos, tokios kaip skenuojantys elektronai ir optiniai mikroskopai. Darbui su chemikalais įrengta atskira patalpa su šlapiaisiais darbastaliais (angl. wetbench).

– Kokie yra pagrindiniai iššūkiai, su kuriais susiduriama eksploatuojant švarųjį kambarį?

– Esminis iššūkis eksploatuojant švarųjį kambarį yra taršos kontrolė, nes net menkiausi nukrypimai gali sugadinti daugybę atliekamų tyrimų ir gaminamą produkciją. Privalome nuolat stebėti aplinkos parametrus ir greitai reaguoti į bet kokius pokyčius.

Be to, būtina reguliariai prižiūrėti patalpas: keisti filtrus, valyti sienas ir lubas, pasirūpinti tiekiamo vandens švarumu, skalbti aprangą.

Darbas su studentais taip pat kelia iššūkių, nes jie vis keičiasi, todėl nuolat reikia apmokyti naujus, užtikrinti saugų darbą tiek jiems, tiek tinkamą švariojo kambario aplinką.

– Kaip švariajame kambaryje užtikrinamas švaros lygis ir kokie yra galimi jo palaikymo sunkumai?

– Norint švariojoje patalpoje sumažinti pašalinių dalelių koncentraciją ir palaikyti švaros lygį, oras nuolat filtruojamas per kambario lubose įrengtus didelio efektyvumo filtrus. Patalpoje sukuriamas didesnis slėgis, apsaugantis nuo dalelių patekimo iš išorės. Naudojama speciali įranga ir baldai, generuojantys minimalų dalelių kiekį.

Net menkiausi nukrypimai gali sugadinti daugybę atliekamų tyrimų ir gaminamą produkciją.

Čia nepageidaujamas įprastas popierius, pieštukai ir kai kurių natūralių pluoštų audiniai. Vis dėlto, pagrindinis pašalinių dalelių šaltinis yra žmogus, kurio veikla per minutę gali išskirti milijonus dalelių. Jos kyla iš odos ir aprangos, o jų kiekis priklauso nuo žmogaus judėjimo greičio ir darbo intensyvumo. Siekiant sumažinti taršą, personalas į švarųjį kambarį patenka ir iš jo išeina tik per specialias zonas, dažnai su „oro dušu“, dirba dėvėdami specialius drabužius, kepures, kaukes, pirštines ir batus.

– Kokių specifinių kompetencijų reikia personalui, dirbančiam švariajame kambaryje, siekiant išvengti eksploatacijos problemų?

– Švariajame kambaryje dirbantys darbuotojai turi gerai išmanyti standartizuotus darbo protokolus, tokius kaip apsirengimo, nusirengimo ir švaros palaikymo taisyklės. Personalas turi suprasti taršos šaltinius ir gebėti juos efektyviai pašalinti, mokėti naudotis esančia įranga ir medžiagomis.

Darbuotojai yra apmokomi, ypač dėl cheminės saugos užtikrinimo, nes, išsiliejus cheminėms medžiagoms, dėl intensyvios oro cirkuliacijos garai gali greitai išplisti po visą patalpą. Tam įrengti įvairių dujų, įskaitant deguonies, jutikliai, perspėjantys apie pavojų vaizdo ir garso signalais.

– Kokie yra pagrindiniai RIANA ir kitų projektų, vykdomų švariajame kambaryje, ypatumai?

– RIANA (angl. Research Infrastructure Access for Nanoscience and Nanotechnology) – „Europos Horizontas“ programos finansuojamas projektas, jungiantis nanomokslų ir nanotechnologijų tinklus.

Juo siekiama sukurti vieno langelio prieigą prie specializuotos įrangos, tokios kaip sinchrotronai, elektronų lazeriai, joninės spinduliuotės ir neutronų šaltiniai, elektroninės mikroskopijos centrai, lazerių centrai, minkštųjų medžiagų tyrimų centrai ir švarieji kambariai.

Šis projektas išsiskiria tuo, kad jis nesusietas su konkrečia tyrimų tema. KTU švariajame kambaryje buvo vykdomi įvairūs ES ir nacionalinėmis programomis finansuojami projektai, susiję su mikro- ir nanoobjektų gamyba fotonikos, elektronikos, jutiklių ir kitose srityse.

– Kiek laiko per dieną personalas praleidžia švariajame kambaryje?

– Įprastai darbuotojai švariajame kambaryje praleidžia iki 3–4 valandų per dieną ir, nors laikas patalpoje nėra ribojamas, darbuotojams vis tiek reikia bent trumpam išeiti, pavyzdžiui, atsigerti vandens. Švarusis kambarys veikia nuolat, priešingu atveju būtų prarasta oro kokybė, o ją atkurti trunka gana ilgai.